технология полупроводниковых интегральных схем с оксидной изоляцией

oksidu izoliuotų integrinių grandynų technologija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. oxide-isolated monolithic technology vok. Oxidisolationstechnologie der monolithischen Mikroschaltungen, f rus. технология полупроводниковых интегральных схем с оксидной изоляцией, f pranc. technologie des circuits intégrés à isolation d'oxyde, f